電阻溫度系數(shù)可作為金屬互連層可靠性監(jiān)測的早期參數(shù)，為工藝開發(fā)、產(chǎn)品驗證和在線監(jiān)測做出早期預(yù)測。電阻的溫度系數(shù)是一個與金屬微觀結(jié)構(gòu)密切相關(guān)的參數(shù)。在不存在任何缺陷的情況下，具有一定的理論價值。由于工藝的影響，實際金屬的晶格結(jié)構(gòu)不再完整，電子在其上散射形成的電阻率是一個與溫度無關(guān)的量。
電阻溫度系數(shù)（Temperature Cofficient of Resistance，簡稱Temperature Cofficient of Resistance）作為反映電阻隨溫度變化的參數(shù)，廣泛應(yīng)用于金屬互連線的可靠性測試。詳細闡述了電阻溫度系數(shù)的內(nèi)在含義，指出電阻溫度系數(shù)的大小與金屬互連層的微觀結(jié)構(gòu)有關(guān)，與電遷移測試結(jié)果有很強的相關(guān)性。電阻溫度系數(shù)可作為金屬互連層可靠性監(jiān)測的早期參數(shù)，為工藝開發(fā)、產(chǎn)品驗證和在線監(jiān)測做出早期預(yù)測。
電阻溫度系數(shù)（簡稱TCR）表示溫度變化1攝氏度時電阻值的相對變化。單位為ppm/℃。有負溫度系數(shù)、正溫度系數(shù)和臨界溫度系數(shù)，其中電阻只在某一溫度下突然變化。紫銅的電阻溫度系數(shù)為1/234.5℃。電阻的溫度系數(shù)是一個與金屬微觀結(jié)構(gòu)密切相關(guān)的參數(shù)。在沒有任何缺陷的情況下，它有一個理論極大值。也就是說，電阻溫度系數(shù)本身在一定程度上表征了金屬工藝的性能。在新工藝流程的開發(fā)過程中或在線監(jiān)測中，可以利用電阻溫度系數(shù)對金屬材料的可靠性進行早期監(jiān)測和快速評價。
在半導(dǎo)體中，金屬互連層（鋁或銅）的電阻在接近常溫的范圍內(nèi)與其溫度呈線性關(guān)系。這就是為什么金屬互連線經(jīng)常被用作半導(dǎo)體測試中的溫度傳感器。在半導(dǎo)體中，電阻的溫度系數(shù)用來表征金屬的電阻與其溫度之間的關(guān)系。電阻的溫度系數(shù)表示單位溫度變化時電阻值（電阻率）的相對變化。
電阻的溫度系數(shù)不是恒定的，而是一個隨溫度變化的值。隨著溫度的升高，電阻的溫度系數(shù)變小。因此，我們所說的電阻的溫度系數(shù)是特定于某一特定溫度的。
對于純晶體結(jié)構(gòu)的理想金屬，其電阻率來源于晶格結(jié)構(gòu)中電子的散射，與溫度有很強的相關(guān)性。由于工藝的影響，實際金屬的晶格結(jié)構(gòu)不再完整，電子在其上散射形成的電阻率是一個與溫度無關(guān)的量。因此，實際的金屬電阻率是由兩個獨立的部分組成的。

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